科技新報

外媒指 EUV 是節能減碳巨大絆腳石,台灣南韓都面臨再生能源短缺

作者 Atkinson

彭博社報導,在先進半導體製程中不可或缺的 EUV 微影曝光設備可說是現代工程的奇蹟。這套由荷蘭商艾司摩爾 (A […]...