科技新報

IC 縮小術！林本堅院士談光學微影如何把 IC 愈變愈小

作者 研之有物

自光學微影技術出現，積體電路（Integrated circuit，IC）體積跟隨著摩爾定律不斷縮小，到踏入 […]...

https://technews.tw/2022/08/29/optical-lithography-burn-jeng-lin/