科技新報

採購 EUV 已無望,中國半導體企業擴大採購 DUV 提升成熟製程

作者 Atkinson

外媒報導,中國半導體企業專注採用深紫外 (DUV) 曝光技術的半導體生產技術發展,原因是中國半導體企業受制國際 […]...