科技新報

向 ASML 訂購 DUV 曝光設備遲未到貨,中芯國際擴產計畫前景堪慮

作者 Atkinson

雖然曝光設備龍頭艾司摩爾 (ASML) 表示,當前除了極紫外光曝光設備 (EUV) 之外,其他設備都可以銷售出 […]...