不用 EUV 也能直上 5 奈米，鎧俠與合作夥伴欲先導入量產

半導體製程技術進入 10 奈米節點後，EUV 曝光設備是不可或缺的步驟，但 EUV 曝光設備每台價格高達 1. […]...