科技新報

這設備 30 年前問世至今仍在使用,助 ASML 登上半導體微影曝光龍頭

作者 Atkinson

不論是極紫外光微影曝光設備 (EUV) 或是深紫外光微影曝光設備( DUV),當前都被廣泛用在邏輯晶片與記憶體 […]...