ASML 新一代多光束檢測設備交付客戶，效率較傳統檢測提升 600%

半導體先進製程的檢測又有新進步！荷商半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）29 日宣布，已經完成針對 5 奈米以上 […]...