艾司摩爾 EUV 設備生產不順,原因是卡爾蔡司鏡頭供應不足

作者 Atkinson

在當前半導體製程已經微縮到 10 奈米以下之際,大家都寄望借助極紫外光微影設備(EUV)能協助製程向前發展,也 […]...