← 科技新報報導科技新報KLA-Tencor 兩款新量測設備,支援 16 奈米積體電路生產署名 TechNews2015/3/5 14:06#市場動態1 家 · 18 篇#晶片1 家 · 15 篇#零組件3 家 · 25 篇#KLA-Tencor#overlay#patterning#光學測量KLA-Tencor Corporation 在 5 日推出兩款先進的量測設備,可支援 16 奈米(含)以下尺 […]...http://technews.tw/2015/03/05/kla-tencor-5d/