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光學巨頭授權戰:尼康起訴蔡司,指其未經授權使用獨家微影技術

署名 PingWest中文網

尼康今日宣佈,對荷蘭半導體業微影(光刻)系統設備供應商<span>ASML</span>和德國光學及光電子學裝置廠商卡爾蔡司(<span>Carl Zeiss</span>)提起訴訟,指控這兩家公司未經授權而使用其微影技術。...