日媒訪台積電熊本廠水處理系統 產出「超純水」分36類再回收 一滴水用3.5次

日本媒體本月獲准進入台積電位於熊本縣的第一工廠地下室採訪，一窺面積約2萬5000平方公尺的水處理系統區域，廠方也介紹產出洗淨矽晶圓所需的「超純水」，必經的3道製程。...