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【零廢供應鏈點將4-3】長春石化「5塔過濾術」 讓異丙醇重回半導體先進製程

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【零廢供應鏈點將4-3】長春石化「5塔過濾術」 讓異丙醇重回半導體先進製程(新聞配圖)
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使用於半導體清洗製程之異丙醇(IPA),是用於晶圓清洗與濕式蝕刻製程之乾燥用溶劑。使用過的「廢異丙醇」溫度約降低5%~15%,傳統廢液處理程序是經過2道蒸餾塔處理,分別是除水蒸餾和破共沸的高純度蒸餾,這些處理完的再生異丙醇純度達到99%,可銷售至塗料業等產業使用。...