分子尼奥奈米壓印微影技術 建立高彈性複合式晶圓代工平台

本文共1032字 分子尼奥(Quantum NIL)專注於非矽材料與先進材料的奈米級製程開發，打造以奈米壓印微影(Nanoimprint Lithography, NIL)為核心的複合式奈米製造代工平台，可在多樣化、易脆性的晶圓材料上量產最小尺寸達25奈米的奈米結構。……