省水省電！台積電估2030年12吋廠 全面導入熱水循環系統2.0版

〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電攜手供應商首創晶圓清洗機台熱水循環系統有效省水80%，為創造更多節能機會點，去年針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造「熱水循環系統2.0版」，今年4月已導入晶圓十二B...