台積電晶圓傳送盒清洗機台 100％回收熱水再利用

〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電指出，公司致力提升製程能資源使用效率，繼攜手供應商開發晶圓傳送盒清洗機台節水控制系統後，持續以創新技術打造「熱水回收循環系統」，將機台中未使用的熱水導回熱水器循環利...