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台積電將於2024年引進最強EUV曝光機

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台積電將於2024年引進最強EUV曝光機(新聞配圖)
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〔記者洪友芳/新竹報導〕台積電2022年技術論壇由北美場於當地時間16日揭開序幕,台積電研發資深副總經理米玉傑在論壇中指出,台積電將於2024年引進高數值孔徑極紫外光(high-NA EUV)曝...