← 自由時報報導自由時報台積電將於2024年引進最強EUV曝光機未署名2022/6/17 08:43#三星21 家 · 86 篇#台積電29 家 · 361 篇#極紫外光(EUV)1 家 · 3 篇配圖來源:自由時報〔記者洪友芳/新竹報導〕台積電2022年技術論壇由北美場於當地時間16日揭開序幕,台積電研發資深副總經理米玉傑在論壇中指出,台積電將於2024年引進高數值孔徑極紫外光(high-NA EUV)曝...https://ec.ltn.com.tw/article/breakingnews/3963048