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半導體新星？美國實驗室發明新雷射，效率比現有 EUV 提升 10 倍

作者 Sisley

這項突破性技術最引人注目之處，在於其有望解決目前 EUV 技術最棘手的「耗能問題」。...

https://www.inside.com.tw/article/37232-us-lab-euv-breakthrough-laser-efficiency-10x