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日本加入 EUV 微影競賽,有機會改寫半導體產業格局嗎?

作者 林宗輝

除了 EUV,日本企業還積極開發其他可能顛覆半導體製造的新技術,佳能公司推出的奈米壓印微影(NIL)技術就是其中之一。...