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台積電贈工研院晶圓高階設備 助先進技術研發

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工研院今(16日)表示,在經濟部部長王美花的促成下,全球晶圓製造龍頭台積電捐贈三部12吋半導體高階製程開發的化學蝕刻、疊對量測與關鍵尺寸量測設備予工研院,將大幅提升工研院對產業界以及學術界的服務量能,及半導體高階人才的培育。...