元智大學鐘國濱獲科研創業萌芽補助590萬
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元智大學機械系鐘國濱教授團隊規劃先進質子交換膜水電解技術,製低碳臭氧水系統,創新應用於晶圓清潔製程,取代高碳臭氧與降低濕式法化學藥劑使用,實踐半導體製程綠色化,獲得國科會科研創業計畫萌芽案,在眾多生醫題材中,唯一與半導體產業接軌的科研創業計畫。...
元智大學機械系鐘國濱教授團隊規劃先進質子交換膜水電解技術,製低碳臭氧水系統,創新應用於晶圓清潔製程,取代高碳臭氧與降低濕式法化學藥劑使用,實踐半導體製程綠色化,獲得國科會科研創業計畫萌芽案,在眾多生醫題材中,唯一與半導體產業接軌的科研創業計畫。...