半導體進入埃米時代 各大廠爭奪EUV設備搶話語權

半導體先進製程下次決戰點在2奈米，但各大廠包括台積電、三星（Samsung）、英特爾（Intel），都開始為下個世代、埃米（angstorm）時代進行布局，而High-NA（高數值孔徑）EUV（極紫外光刻）技術將是延續摩爾定律的關鍵，因此各大廠將積極引進設備，爭奪先進製程話語權。...