大紀元前研發大將林本堅：台積電技術超車英特爾
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晶圓代工龍頭台積電在5奈米製程方面，全採極紫外光（EUV）微影設備，領先全球半導體業，英特爾（Intel）則還未進入EUV量產的階段。台積電前研發副總、清大半導體研究學院院長林本堅27日透露，英特爾在2002年曾號召企業組成EUV研發聯盟，台積電無法加入，因此改採浸潤式（Immersion）微影技術...
晶圓代工龍頭台積電在5奈米製程方面，全採極紫外光（EUV）微影設備，領先全球半導體業，英特爾（Intel）則還未進入EUV量產的階段。台積電前研發副總、清大半導體研究學院院長林本堅27日透露，英特爾在2002年曾號召企業組成EUV研發聯盟，台積電無法加入，因此改採浸潤式（Immersion）微影技術...