台積電研發節水系統明年導入12吋廠

未署名2021/8/31 21:17

台積電8月31日表示，針對晶圓傳送盒清洗機臺開發「節水控制系統」，今年8月成功導入晶圓12B廠、18A廠，並將在2022年全面導入國內12吋廠，目標每年節省38萬噸純水及1,533萬度電。...