創新化學濾網應用台積電：減廢效益達16億元

未署名2021/8/1 20:10

隨著半導體先進製程不斷演變，氣態分子污染物（AMC）控制技術與晶圓良率的提升，已經密不可分。台積電改良的濾網結構，截至今年6月，共減少濾網廢棄物3,251公噸、碳排放量12,028公噸，相當於31座大安森林公園二氧化碳的年吸附量，成功創造逾新臺幣16億元的減廢總效益。...