中國傳開始生產DUV曝光機 要擺脫設備卡脖子？

據美國媒體《The Information》周一（27 日）報導，中國已開始生產自研浸潤式深紫外光曝光機（DUV），這種晶片製造關鍵設備長期由荷蘭供應商 ASML 主導。...