韓媒:三星美國泰勒晶圓廠3月測試EUV光刻機 加速2奈米GAA製程部署
署名 鉅亨網編譯陳韋廷
外媒最新報導指出,南韓三星電子將於今年 3 月在美國泰勒一號工廠啟動 EUV 光刻機測試,隨後逐步導入蝕刻、沉積等設備,計畫下半年正式投產。 《韓國經濟新聞 (KED)》周一(19 日) 報導,為加速進度,三星已向德州政府申請工廠臨時使用許可,可在滿足消防與安全條件下在竣工之前先行運作,並派遣大量...
外媒最新報導指出,南韓三星電子將於今年 3 月在美國泰勒一號工廠啟動 EUV 光刻機測試,隨後逐步導入蝕刻、沉積等設備,計畫下半年正式投產。 《韓國經濟新聞 (KED)》周一(19 日) 報導,為加速進度,三星已向德州政府申請工廠臨時使用許可,可在滿足消防與安全條件下在竣工之前先行運作,並派遣大量...