鉅亨網家碩推EUV充氣製程新產品 明年導入客戶端
署名 鉅亨網記者魏志豪 台北
家登 (3680-TW) 旗下家碩 (6953-TW) 今 (10) 日指出，將流量自動化量測技術應用於 EUV 與高階光罩充氣製程，可優化充氣氣體使用量，預計明年導入客戶端產線使用，南科三期擴廠計畫也正興建中，預計 2027 年加入營運。...
家登 (3680-TW) 旗下家碩 (6953-TW) 今 (10) 日指出，將流量自動化量測技術應用於 EUV 與高階光罩充氣製程，可優化充氣氣體使用量，預計明年導入客戶端產線使用，南科三期擴廠計畫也正興建中，預計 2027 年加入營運。...