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科林研發推晶圓製造協作機器人 獲三星採用

署名 鉅亨網記者魏志豪 台北

科林研發 (Lam Research)(LRCX-US) 今 (13) 日宣布推出 Dextro 半導體業界首款協作機器人(cobot),旨在優化晶圓製造設備的關鍵維護任務,現已部署至全球多個先進晶圓廠中,可實現準確、高精度的維...