imec發表微影蝕刻製程簡化做法 high-NA EUV曝光一次減少3成碳排

2024 年國際光學工程學會 (SPIE) 先進微影成形技術會議 (Advanced Lithography and Patterning Conference) 本周舉行，比利時微電子研究中心 (imec) 展示能減少二氧化碳排放的...