鉅亨網imec結盟三井化學 EUV奈米碳管光罩護膜2025年後推出
署名 鉅亨網記者魏志豪 台北
比利時微電子研究中心 (imec) 今 (22) 日宣布，攜手日本化工及極紫外光 (EUV) 光罩護膜大廠三井化學，共同推動極紫外光 (EUV) 微影應用的奈米碳管 (CNT) 光刻薄膜技術商業化，雙方正式建立策略夥伴關係。...
比利時微電子研究中心 (imec) 今 (22) 日宣布，攜手日本化工及極紫外光 (EUV) 光罩護膜大廠三井化學，共同推動極紫外光 (EUV) 微影應用的奈米碳管 (CNT) 光刻薄膜技術商業化，雙方正式建立策略夥伴關係。...