〈台積電ESG〉晶圓傳送盒清洗機台 達100%回收熱水再利用

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 以創新技術打造「熱水回收循環系統」，將機台中未使用的熱水導回熱水器循環利用，成功達成晶圓傳送盒清洗機台未運作時熱水 100% 回收，今年通過驗證、已於第三季導入晶圓十二 B 廠...