〈工業技術與資訊〉先進半導體薄膜設備智慧製程技術

製程參數就像食譜配方，不同參數組合，都會影響良率。半導體電子元件動輒上千道製程中，複雜反應有如黑盒子，只靠人工調整找到最佳參數，曠日廢時。為了解決此問題，研發「先進半導體薄膜設備智慧製程系統」，領先全球首創虛實整合的數位...