東聯高純度二氧化碳 首度打入台積電先進製程供應鏈

隨著半導體往先進製程推進，對化學品的精度要求與需求量也更大，東聯 (1710-TW) 回收 EG(乙二醇) 製程中產生的二氧化碳，產製高純度二氧化碳，純度等級達 99.9999%，可供應 5 奈米、3 奈米等先進製程需求，已打入晶圓代工...