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台積電攜供應商再生電子級二氧化碳 年減碳1200公噸

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台積電攜供應商再生電子級二氧化碳 年減碳1200公噸(新聞配圖)
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晶圓代工廠台積電與雙氧水供應商合作,針對生產過程中排放的尾氣進行碳捕捉與純化,轉化為符合半導體製程品質標準的電子級二氧化碳,再生電子級二氧化碳已成功導入晶圓14B廠,預估年減碳約1200公噸。...