TVBS新聞網沙漠怎養活護國神山？揭密台積電最強再生水技術打造「晶片之水」半導體產業的全球擴張不只比良率、產能與先進製程，更是一場關於自然資源管理的挑戰。晶圓製造被公認是一項極度消耗水資源的產業，包括使用大量超純水（Ultra Pure Water）清洗晶圓、化學製程到冷卻系統，都需要水，因此資源的穩定供應直接影響晶片的良率以及產能
作者 黃貞怡
半導體產業的全球擴張不只比良率、產能與先進製程，更是一場關於自然資源管理的挑戰。晶圓製造被公認是一項極度消耗水資源的產業，包括使用大量超純水（Ultra Pure Water）清洗晶圓、化學製程到冷卻系統，都需要水，因此資源的穩定供應直接影響晶片的良率以及產能的運轉。...